離子源

OIS-CDM

OIS-CDM可以測量離子源的離子電流密度，可以通過選擇專用程序自動進行測量。

規格
電源電壓 交流電 100 V±15 ％
偏置電源（內部） 0至±60 V / 0.5 A
標準測量范圍 ±199.99 mA至±1.9999 mA
規管，電纜，導入接頭
標準規管 φ30mm（φ8mm，測量平面），10個
掃描點數 32點
尺寸 480 × 99 × 330 mm